10/6 20:41    ﾏﾆｭｱﾙ借りています by 田中克洋
6/2 16:35    到達真空度が２〜３×１０E-5Torrまでしか上がりません。使用時にチャンバ内を掃除してから使用して下さい。 by 江刺研 川合
1/28 10:21	現在軸調整のため、使用不可です	ueda
5/20 18:26	2009/5/20　SIM像が見えないため、使用不可です	ueda
3/24 16:19	SIM像が見えなくなっていますので現在使用不可です	Ishikawa
4/1 14:29	↑ヒューズ切れが原因でした．使用可能です．	Ishikawa
5/22 19:05	TMP異常，並びにGaイオン源の枯渇により使用できません．	Ishikawa
6/26 08:28	使用可能です	Ishikawa
5/20 18:27	SIM像が見えないため、使用不可です	ueda
5/30 17:28	使用可能です	ueda
8/21 10:33	作業手順書を作成しました。使用可能です。	ueda